多伦多方脸
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根据知名的科技媒体informtion报道
中国已经开始尝试生产DUV光刻机
主要制造商为一家名叫上海宇量昇的国企
不过目前DUV光刻机量产效率仍然较低,预计2026年出货5台,2027年出货20台
而ASML的DUV光刻机,一年出货量在130台
此外EUV光刻机目前还有难度,据悉目前还处于原型机阶段
尚有数年差距
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