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空军一号成功降落在安德鲁基地 在飞机巨大的轰鸣声中 美国士兵站在机场,纹丝不动 Air Force One successfully landed at Andrew Base In the loud roar of the plane American soldiers stood still at the airport.
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先进封装的”耗材接棒”叙事最近很热,逻辑链也确实成立。但要理解为什么材料战场会从underfill转向CMP slurry,得先搞清楚一个更底层的技术拐点。 Micro bump方案同时撞上了三面墙。第一,bump pitch缩到25μm以下时solder bridging风险飙升,良率断崖。第二,JEDEC对HBM封装高度有硬限制,每层die加上micro bump加上underfill要吃掉40-50μm,堆到16层已经是物理极限,往20层走厚度预算根本不够。第三,underfill的thermal conductivity只有0.2-0.5 W/m·K,铜是401 W/m·K,差了三个数量级。每多堆一层die,中心层的junction temperature就更难控制。三个约束的共同解指向同一件事:取消solder和underfill,让copper直接做diffusion bonding。 Hybrid bonding解决了pitch、高度、散热三个问题,但代价是把容错率压到了atomic level。Micro bump时代表面粗糙度几十纳米就能工作,hybrid bonding要求Ra降到sub-0.5nm,任何一颗纳米级的particle都会在bonding interface形成void,后续thermal cycling会把void扩展成crack。这就是CMP slurry和Cu plating additives变成新咽喉的根本原因,配方质量直接等于bonding yield,bonding yield直接等于HBM产能。 但问题是,这条耗材链上谁真正有定价权。台厂的强项一直在设备和通路端。弘塑做ECP设备、辛耘做wet process清洗、中砂做pad和diamond disc,全部围绕化学品消耗量做文章,本身不掌握配方。崇越和华立是代理通路,帮信越、Fujimi把材料送进产线。真正自研CMP slurry配方的只有达兴和长兴,体量跟Fujimi、Entegris完全不在一个量级。化学配方的壁垒跟设备不一样,设备可以逆向工程迭代追赶,配方是几十年经验数据的堆叠,一款slurry打进台积电标准制程通常五到十年不会被替换。达兴说它的CMP slurry已经应用于N2并供货Arizona,如果属实,至少过了初步验证。但”应用于”和”规模化供货”之间的距离,有时候比技术本身还远。 资金从CoWoS设备capex转向耗材opex,方向没问题。但耗材链上真正有定价权的那一段在谁手里,市场似乎还没想清楚。
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