Ryan Leung 梁興盛, CFA(@RYANHINGSHING):最近我看了一篇来自中国科学技术协会期刊的文章，里面提及了光刻机的进度，在此分享一下上海微电子28nm光刻机(ArF Immersion)进入工艺测试阶段据我了解2025年进入alpha stage 根据经验，alpha/beta/backup/inline每个阶段都需要1-2年验证大家认为中国什么时候有inline 28nm光刻机呢谢谢大家🙏

Ryan Leung 梁興盛, CFA

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Ryan Leung 梁興盛, CFA@RYANHINGSHING

2026.05.22 11:08

最近我看了一篇来自中国科学技术协会期刊的文章，里面提及了光刻机的进度，在此分享一下上海微电子28nm光刻机(ArF Immersion)进入工艺测试阶段据我了解2025年进入alpha stage 根据经验，alpha/beta/backup/inline每个阶段都需要1-2年验证大家认为中国什么时候有inline 28nm光刻机呢谢谢大家🙏