Taiyo × imec把RDL做到700nm:先進封裝開始進入「Sub-Micron Wiring」時代
日本 Taiyo Holdings(太陽控股) 9月10日在IEEE ESTC 2026發表與imec共同開發的下一代先進封裝材料 FPIM Series。利用negative-tone i-line photosensitive insulating material與dual-damascene製程,已在12吋wafer上完成 700nm CD的三層RDL,較2025年的1.6µm明顯縮小;下一步目標是500nm以下。
顯示更多