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阿斯麦（ASML）最新回应表示，从未向中国出口过极紫外（EUV）光刻机及部件。此前有报道称，美国官员担心，该公司一款先进的极紫外光刻机已经流入中国。
阿斯麦最先进的EUV光刻系统重达180吨，体积相当于一辆中型客车。
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