SK海力士年底量產375層3D NAND 清州M15廠升級導入鉬材料
SK海力士宣布將於2026年底前正式量產下一代375層3D NAND快閃記憶體,已完成生產驗證並準備技術轉移至量產線。
此次並未新建工廠,而是對位於清州的M15廠現有產線進行改造。該廠目前主要生產176層、238層與321層NAND產品。375層產品原內部代號為「400層級」,因製程難度考量調整為375層,未來路徑圖將延伸至480層與604層。
最大技術亮點是導入鉬(Molybdenum, Mo)材料,部分取代傳統鎢(Tungsten, W)。隨著NAND堆疊層數大幅增加,字元線(word line)變得更細,鎢的電阻急劇上升,影響訊號傳輸速度。鉬具備更低電阻特性,可提升寫入與抹除效能;同時無需阻擋襯層,能減少每層厚度損失,實現更高密度堆疊。
SK海力士在設備選擇上採用東京電子(TEL)的爐式沉積系統,材料則由Air Liquide、Entegris等供應商提供。相較之下,三星電子已自2024年起在286層產品導入鉬,並持續擴大應用。
產業人士指出,NAND市場仍以獲利為優先,SK海力士策略是減少低層數產品產出,集中資源提升375層高密度產品的位元生產力與成本競爭力,而非全面擴大總產能。
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