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【セントラル硝子、半導体材料「無水フッ酸」の製造能力3倍に】
セントラル硝子は16日、半導体製造材料などに使われる無水フッ酸の製造能力を増強すると発表した。従来は同社が製造する半導体材料向けの製造がメインだったが、製造能力を増強し外部供給を強化する。
宇部工場（山口県宇部市）に製造設備を新設する。現在は年間1万3000トンの製造能力を持つが、年4万トン以上に能力を高める。2027年度までをめどに設備投資の検討を進める予定で、27年3月期の業績への影響は軽微としている。
同社は半導体製造で回路形成に使われるエッチングガスなどの材料を多く手掛けており、これらの製品で無水フッ酸を使用している。
無水フッ酸は蛍石という鉱石を原料とするが、蛍石は中国からの輸入比率が高い。設備増強については経済産業省から最大約176億円の補助金を受ける。同社は「今後調達先の切り替えなども検討していく」とした。
出典：日本経済新聞
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